天然水中通常含有五种杂质:1.电解质,包括带电粒子,常见的阳离子和阴离子。2.有机物质,如:有机酸、农药、烃类、醇类和酯类等。3.颗粒物。4.微生物。5.溶解气体，所谓水的纯化，就是要去掉这些杂质。杂质去的越彻底，水质的纯度也就纯洁。
　　根据原水水质情况和出水水质要求，一般采用过滤、两级RO反渗,EDI装置的工艺，。常用系统工艺流程如下： 原水→水箱→预处理系统→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧膜组装置→氮封纯水箱→185 nm除TOCUV装置→抛光混床→膜滤装置→用水点

制备超纯水工艺简介

1.原水：可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作原水。
2.机械过滤：通过砂滤和纤维柱滤除机械杂质，如铁锈和其他悬浮物等。
3. 活性炭过滤：活性炭是广谱吸附剂，可吸附气体成分，如水中的余氯等；吸附细菌和某些过渡金属等。氯气能损害反渗透膜，因此应力求除尽。
4. 反渗透膜过滤：可滤除95%以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。由于绝大多数离子的去除，使后级的使用寿命大大延长。
5. 紫外线消解：借助于短波（180nm-254nm）紫外线照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有机化合物，如甲醇、乙醇等，使其转变成CO2和水，以降低TOC的指标。
6. EDI电除盐: 连续电除盐（EDI，Electro-deionization或CDI,Continuous Electrode ionization）,是利用混合离子交换树脂吸附给水中的阴阳离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下，分别透过阴阳离子交换膜而被去除的过程。此过程离子交换树脂不需要用酸和碱再生。
7. 终端离子交换单元：混合离子交换床是除去水中离子的决定性手段。水中的TOC指标主要来自树脂床。采用高质量的离子交换树脂就成为关键。所谓高质量的树脂，就是化学稳定性特别好，不分解，不含低聚物、单体和添加剂等的树脂。一般采用核子级树脂
8. 0.2μm滤膜过滤，以除去水中的颗粒物到每毫升1个（小于0.2μm的）.经过上述各步骤处理后生产出来的水就是超纯水了。可满足各种仪器分析，高纯分析，痕量分析等的要求，达到电子级水的要求。