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电子工业部高纯水水质试行标准[39] |
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化学指标单位：μg/L |
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| 序号 |
水质项目 |
一级高纯水指标 |
二级高纯水指标 |
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1 |
电阻率（25℃）MΩ·cm |
≥15 |
≥10 |
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2 |
电导率，μs/cm |
0.05 |
0.1 |
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3 |
PH值 |
6.8～7.2 |
6.6～7.4 |
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4 |
细菌总数，个/mL |
＜3 |
＜9 |
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5 |
微粒（直径＞0.5μm，粒/mL） |
＜150 |
＜300 |
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6 |
二氧化硅 |
＜10 |
＜20 |
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7 |
有机物（以COD计） |
＜0.3 |
＜0.5 |
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8 |
钠
Na |
＜0.5 |
＜2 |
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9 |
铁
Fe |
＜1 |
＜2 |
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10 |
铜
Cu |
＜0.5 |
＜1 |
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11 |
钙
Ca |
＜1 |
＜3 |
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12 |
镁
Mg |
＜0.2 |
＜1 |
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13 |
锌
Zn |
＜0.5 |
＜1 |
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14 |
锰
Mn |
＜0.2 |
＜0.5 |
说明：①一级高纯水适用于大规模集成电路，微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。
②二级高纯水适用于一般电路，分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。
③本表按1980年电子工业部标准摘录。
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